■歷時3年研發(fā)

■年產(chǎn)能120萬片

車間內(nèi)，工作人員在點檢脫膠清洗后的硅片。記者劉振興孫耕攝

德州新聞網(wǎng)訊（記者李榕劉瀟通訊員韓哲）10月16日，山東有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目在天衢新區(qū)實現(xiàn)通線，這是全省首條12英寸集成電路用大硅片生產(chǎn)線，標志著山東在完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上邁出了關鍵一步。項目達產(chǎn)后將形成每年120萬片的生產(chǎn)規(guī)模。

10月16日，在山東有研艾斯半導體材料有限公司的無塵車間內(nèi)，經(jīng)過單晶拉制、滾磨截斷、線切割等數(shù)十道工序，一片片12英寸大硅片成功下線。

硅片即“晶圓”，是制造芯片的關鍵材料，相當于芯片的“地基”。12英寸硅片的面積是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右，隨著集成電路制程和工藝的發(fā)展，硅片趨向大尺寸化，12英寸硅片為當前及未來較長時間內(nèi)的主流產(chǎn)品。

“我們是山東省內(nèi)唯一一家生產(chǎn)12英寸大硅片的企業(yè)，目前可實現(xiàn)月產(chǎn)能10萬片。最終硅片出廠時最高與最低的平整度誤差不能超過0.1微米?！鄙綎|有研艾斯總經(jīng)理閆志瑞介紹，硅片直徑越大，封裝出的芯片越多，單個芯片制造成本越低。但同時對材料和技術的要求越高，制造難度也越大。其中，單晶工藝是最核心的技術，決定了硅片尺寸、電阻率、純度等晶體缺陷。歷經(jīng)3年技術研發(fā)，山東有研艾斯攻克了單晶微缺陷、硅片幾何尺寸、硅片表面沾污等關鍵技術指標，目前已在國內(nèi)外多家知名集成電路制造企業(yè)開展產(chǎn)品驗證。

據(jù)悉，該項目是國內(nèi)半導體材料龍頭企業(yè)中國有研參股布局的重點項目之一，一期投資25億元，達產(chǎn)后將徹底改變我國依賴進口的局面。

2018年以來，中國有研在德州投資近百億元，落地7個項目，已投產(chǎn)4個，德州成為有研在全國投資布局規(guī)模最大、業(yè)務領域最廣的科技成果轉(zhuǎn)化基地。天衢新區(qū)依托中國有研“集成電路關鍵材料國家工程研究中心”，打造中國集成電路關鍵材料（德州）基地，將成為北方最大的集成電路用大硅片生產(chǎn)基地。

企業(yè)投資持續(xù)“加碼”，中國有研科技集團有限公司黨委委員、副總經(jīng)理周旗鋼信心十足，“投資項目進展順利、運行正常，事實證明當初選擇德州是正確的?！彼硎荆轮輰⒂醒凶鳛殒溨髌髽I(yè)重點培育，精心建設專業(yè)園區(qū)，形成了較為完善的半導體產(chǎn)業(yè)生態(tài)，有研也將充分發(fā)揮頭部效應，集聚更多上下游企業(yè)落戶德州。

近5年來，德州半導體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值年均增長近20%。山東有研入選省級“雁陣形”產(chǎn)業(yè)集群領軍企業(yè)庫，天衢新區(qū)電子信息（集成電路）入選山東省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和特色產(chǎn)業(yè)集群，已成為全省半導體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要增長極，一批高端優(yōu)質(zhì)項目聚“鏈”成“群”，蓬勃發(fā)展。